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十級的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業，采用FFU滿布，利用超高效空氣過濾器，地板用高架地板制作。
三十萬級無塵車間是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除。
十萬級無塵車間是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除。
萬級無塵車間是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除。
千級無塵車間是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除，
百級無塵車間主要是根據車間的埃塵粒子來決定的，大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的塵粒數為0。
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